La Litografia Elettronica: un nuovo impulso alla nanofabbricazione

La Litografia Elettronica (EBL) è oggi una delle tecniche di fabbricazione chiave per la realizzazione di strutture di dimensione nanometrica, anche su substrati di grandi superfici. Al CNR-IOM di Trieste in Area Science Park è stato installato un EBL per la produzione di strutture, sensori e dispositivi di dimensioni nanometriche. Lo strumento è stato acquisito nell’ambito di “NANO-REGION, una rete aperta per l’innovazione”, progetto transfrontaliero Italia-Slovenia che vanta già un’ampia gamma di strumentazioni per le nanotecnologie a disposizione della comunità scientifica e delle imprese. Ce ne parla Simone Dal Zilio, ricercatore del CNR-IOM.

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