La Litografia Elettronica (EBL dall’acronimo inglese per Electron Beam Litography) è oggi la tecnica di fabbricazione chiave per la realizzazione di strutture di dimensione nanometrica anche su substrati di grandi superfici. Al Cnr-Iom di Trieste in Area Science Park è stato installato un EBL per la produzione di strutture, sensori e dispositivi di dimensioni nanometriche, nel quadro di “NANO-REGION, una rete aperta per l’innovazione”, progetto transfrontaliero Italia-Slovenia che vanta già un’ampia gamma di strumentazioni per le nanotecnologie a disposizione della comunità scientifica.

Le nanotecnologie costituiscono una realtà già presente nei prodotti commercializzati e impiegati nella quotidianità, con applicazioni nel design, arredamento, elettronica, sensoristica, biomedicale, elettronica e altro ancora. Questo settore tecnologico può avere ulteriore impulso dalla litografia elettronica, una tecnica che condivide con la microscopia elettronica a scansione (SEM) l’utilizzo di un fascio elettronico estremamente collimato, del diametro inferiore a 1 nanometro. Mentre nel SEM questo fascio illumina il campione e gli elettroni riflessi vengono utilizzati per creare un’immagine del campione stesso, nell’EBL gli elettroni sono utilizzati per incidere un materiale sensibile, ad esempio il polimetilmetacrilato (il comune plexiglas), modificandone la struttura chimica e dando luogo alla fabbricazione di nanostrutture.

“Esistono due tipi di materiali elettrosensibili: quelli detti ‘resist positivi’, in cui le aree esposte al fascio diventano solubili ad un particolare solvente, e quelli detti ‘negativi’, che invece si induriscono sotto il fascio”, spiega Simone Dal Zilio, ricercatore al Cnr-Iom e responsabile della strumentazione di NANO-REGION.

NANO-REGION è un progetto Interreg Italia-Slovenia giunto al suo quarto e ultimo anno che mette le nanotecnologie a disposizione del mondo industriale. In particolare, il progetto fornisce alle imprese del territorio transfrontaliero consulenze su problemi produttivi e imprenditoriali, cui segue l’identificazione di soluzioni nanotecnologiche. Attraverso l’attivazione di un percorso prima virtuale poi sperimentale detto Proof of Concept (PoC), che coinvolge ricercatori e imprenditori, il know-how degli istituti di ricerca viene così condiviso con il tessuto imprenditoriale. Le soluzioni tecnologiche individuate vengono verificate su casi reali, proprio grazie all’impiego di strumentazioni all’avanguardia, alle quali ora si aggiunge l’EBL. Quest’ultimo, inserito all’interno della facility di nanofabbricazione di Cnr-Iom e installato in una camera bianca di classe 1000, è un unicum nella regione transfrontaliera che comprende Friuli Venezia Giulia, Veneto e Slovenia, di grande interesse anche per altri territori interessati allo sviluppo delle nanotecnologie.

“Ad oggi sono stati già realizzati 20 PoC, che sono vere e proprie sperimentazioni i cui risultati vengono pubblicati e resi consultabili da parte di altre imprese attraverso il sito Internet www.nanoregion.eu, moltiplicando così la conoscenza e la replicabilità potenziale della soluzione adottata”, spiega Mattia Fanetti dell’Università di Nova Gorica e responsabile per NANO-REGION dell’attività di PoC.

“Con l’apertura all’utenza dell’EBL, ultimo nato in casa NANO-REGION – conclude Marco Lazzarino, Principal Investigator del progetto – sono certo che la risposta già entusiastica del tessuto industriale locale trarrà ulteriore e rinnovato vigore, per chiudere in crescendo un progetto che ci ha già dato moltissime soddisfazioni”.