La Litografia Elettronica: un nuovo impulso alla nanofabbricazione

La Litografia Elettronica (EBL) è oggi una delle tecniche di fabbricazione chiave per la realizzazione di strutture di dimensione nanometrica, anche su substrati di grandi superfici.

Al CNR-IOM di Trieste in Area Science Park è stato installato un EBL per la produzione di strutture, sensori e dispositivi di dimensioni nanometriche.

Lo strumento è stato acquisito nell’ambito di “NANO-REGION, una rete aperta per l’innovazione”, progetto transfrontaliero Italia-Slovenia che vanta già un’ampia gamma di strumentazioni per le nanotecnologie a disposizione della comunità scientifica e delle imprese.

Ce ne parla Simone Dal Zilio, ricercatore del CNR-IOM.